參數
流量輸出:0-10SLM以上
儀器精度:±1%F.S(可選高配,為±1%S.P)
重復精度:±0.2%F.S(10SLM以上重復精度誤差增大)
線(xiàn)性:±0.5%F.S(10SLM以上重復精度誤差增大)
工作環(huán)境溫度:5℃-45℃
預熱時(shí)間:20min
稀釋比:100:1(可根據客戶(hù)要求訂制)
曉韜科技專(zhuān)業(yè)致力于動(dòng)態(tài)稀釋配氣儀等行業(yè)技術(shù)服務(wù),曉韜科技竭誠為您服務(wù)!
左側選擇框內為功能區
模式選擇:
通過(guò)切換,選擇濃度模式和流量模式兩種基本控制模式。
濃度模式:用戶(hù)根據自身配氣需求,直接在輸出設定中輸入所需輸出的氣體濃度,并點(diǎn)擊開(kāi)始自動(dòng)配出所需濃度氣體。
流量模式:
用戶(hù)通過(guò)每臺MFC的手動(dòng)流量設定,自行控制內部截止閥開(kāi)關(guān),進(jìn)行自由設定,系統自動(dòng)換算出當前輸出氣體濃度。、
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技術(shù)參數
◆ 四路進(jìn)口質(zhì)量流量控制器
◆ 儀器精度:±1%F.S。
◆ 稀釋比為:300:1(流量范圍、稀釋倍數等根據用戶(hù)要求可隨便設計及裝配)
◆ 輸出流量:1000mL/min
◆ 流量線(xiàn)性誤差:≤±0.5% F.S.
◆ 配氣不確定度:≤±1% F.S.
◆ 預熱時(shí)間:20min
◆ 環(huán)境溫度:-20℃~+55℃
◆ 環(huán)境濕度:(15~85)% RH
◆ 大氣壓力:(86~106)KPa
◆ 電源電壓:AC 220V±10% 50Hz
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